半导体光刻(图)-氮化铝真空镀膜加工厂-山东真空镀膜加工厂

真空镀膜加工厂MEMS真空镀膜加工平台——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

真空系统的部分，可能出现的故障有：

（1）阀门问题，氧化铪真空镀膜加工厂，各种阀门打不开：出现各种阀门打不开的情况时，首先检查阀门各属器室的阀门有无关到位、气压是不是正常，如果上述的条件都正常但是仍旧不能工作的情况下，IGZO真空镀膜加工厂，则应对照系统电气原理图检查各执行器件供电回路是否正常，逐一进行排除。

工件烘烤系统：

（1）温度失控，恒温不稳定：可能原因有，温控仪工作失常、调功器输出不能调节、热电偶位置欠妥。这种情况下我们可以检修更换温控仪、检查调功器工作情况、调整热电偶位置。

（2）跳闸：可能原因有，自身短路、绝缘降低、电阻太小。这种情况下我们可以检修加热器件重新调整到正常工作、清洗蒸发物质检查绝缘物质是否破损提高真空度、选择较低的输出电压待温度升高再提高电压。

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可变参数

在溅射过程中，通过改变改变这些参数可以进行工艺的动态控制。这些可变参数包括:功率、速度、气体的种类和压强。

功率

每一个阴极都具有自己的电源。根据阴极的尺寸和系统设计，功率可以在0 ~ 150KW(标称值)之间变化。电源是一个恒流源。在功率控制模式下，功率固定同时监控电压，通过改变输出电流来维持恒定的功率。在电流控制模式下，固定并监控输出电流，这时可以调节电压。施加的功率越高，沉积速率就越大。

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真空镀膜是一种将待镀材料和被镀基材放置于真空室内，采用一定方法加热待镀材料，使之蒸发或升华并飞溅到被镀基材表面凝聚成膜的表面处理工艺，如图所示。

真空镀膜工艺可使塑料表面具有金属质感，并赋予一定的导电性能，其基材选择广泛，过程环保***，颜色相较电镀更加丰富。此工艺可分为三种类型：蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。

真空镀膜原理图

在内外饰系统中，荣威标牌嵌件是采用真空镀膜的典型零件。通过标牌嵌件背面镀的银色铝膜与淡***PMMA基材共同形成了的金色狮子华表图案。荣威标牌嵌件采用的是真空镀膜工艺中的溅射镀膜。真空镀膜典型零件及镀膜机实物图如图所示。

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