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五轴磁悬浮分子泵分子泵维修,请务必确认维修厂家有无如下设备及备件: 氦质谱检漏仪:是用来测试分子泵有无渗漏的,shimadzu真空泵维修去哪维修,五轴磁悬浮分子泵维修后,因真空密封及接口较多,很容易有轻微渗漏而导致您镀膜线腔体中真空度差,又直接导致镀膜质量差。
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分子泵的电机转子叶片务必具备与气体分子速率相仿的角速度。具备那样的高速运行才可以使气体分子与动叶片相碰撞后更改任意透射的特点而作定向运动。
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