同时这些气体还要与金属中的碳发生反应，使其表面脱碳。如果炉中含有一氧化tan或甲wan气体，中堂真空热处理，还会使金属表面增碳。对于化学性质非常活泼的Ti、Zr以及难溶金属W、Mo、Nb、Ta等，在空气炉中加热，除了要生成氧化物、氢化物、氮化物外，还要吸收这些气体并向金属内部扩散，使金属材料的性能严重恶化。
这些氧化、脱碳、增碳、吸气甚至产生腐蚀等弊病，在可控气氛炉或盐浴炉中加热，有时也难以避免。为解决这一问题，真空热处理，通常的做法是在工件热处理前留有加工余量，热处理后在加工去掉氧化、脱碳层等。
正火是将工件加热到适宜的温度后在空气中冷却，正火的效果同退火相似，只是得到的***更细，企石真空热处理，常用于改善材料的切削性能，也有时用于对一些要求不高的零件作为热处理；
淬火是将工件加热保温后，在水、油或其它无机盐、有机水溶液等淬火介质中快速冷却。淬火后钢件变硬，但同时变脆，为了及时消除脆性，一般需要及时回火；
国内真空炉的压升率应不大于1.33Pa/h，常平真空热处理，国外某些公司的规范为0.67Pa/h。真空加热以辐射为主，工件在炉内大概坚持距离.升温过程中，工件及炉内资料会放气，使真空度降低.8，真空回火、真空退火、真空固溶处置及真空时效的加热温度通常与惯例处置时加热温度一样.真空热处理真空回火炉大概具有快冷设备。冷却水的压力大概大于0.2Mpa，流量应可调.冷却气体：钢通常选用百分之99.99纯度的氮气，高温合金选用百分之99.99的氢气或亚气，钛合金选用百分之99.99的亚气.真空热处理升温：放入工件后，通常先预抽至6.67Pa时方可升温加热。
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