一、净化车间空气洁净度检测前的准备
1、净化车间及其净化空调系统应清洁。
2、用光散射粒子计数器CLJ-BII对或气溶胶光度计HPM-350空气过滤器进行检漏试验。应确定空气过滤器迎风面的集气室(或风道)中颗粒尺寸大于或等于0.5微米的灰尘颗粒数量大于或等于30000颗粒/升。如果还不够，可以引入烟雾并开始泄漏检测。颗粒计数器(或检漏装置)的取样口距离空气过滤器2-3厘米，并能以2-4厘米/秒的速度移动，以扫描密封头涂胶位置和安装架位置的空气过滤器的整个截面。当颗粒计数器的读数为进气口0.5微米或者更大时，尘粒数为每分钟3粒以上。(或其渗透率大于0.01%)，认为该处有明显渗漏，须进行封堵。
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