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涡轮分子泵主要由泵体、带叶片的转子（即动叶轮）、静叶轮和驱动系统等组成。

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分子泵的原理分子泵是一种动量型真空获得设备，子分子流态下，岛津涡轮分子泵，气体分子与高速运动的表面发生碰撞获得一定方向的动量，岛津涡轮式分子泵，从而使气体分子得到逐级压缩，后被抽除

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一般的检漏仪只能设置大于某一漏率的报警值。因此在系统检漏时，当分流比过大却没有设置相应的分流比，或者当检漏阀门关闭或堵塞时，就有可能错过泄漏。