5.芯片上,若已长上氧化层,在送黄光室前切勿用钻石刀在芯片上刻记。
6.操作时,不论是否戴上手套,手能放进清洗水槽。
7.使用化学站或烤箱处理芯片时,无尘室净化车间设计,务必将芯片置放于铁弗龙晶舟内,不可使用塑料盒。
8.摆置芯片于石英舟时,无尘室净化车间装修,若芯片掉落地上或手中则必须重新清洗芯片,然后再进氧化炉。
9.请勿触摸芯片盒内部,如被碰触或有碎芯片污染,必须重作清洗。
10.手套,废纸及其它杂碎东西,请勿留置于操作台,手套若烧焦、磨破或纤维质变多必须换新。
11.非经指示,可开启不熟悉的仪器及各种开关阀控制钮或把手。
12.奇怪的味道或反应异常的溶液,无尘室净化车间工程,颜色,声响等请即通知相关人员。
13.仪器因操作错误而有任何损坏时,务必立刻告知负责人员或老师。
14.芯片盒进出无尘室须保持干净,并以保鲜膜封装,违者不得进入。
15.无尘室内一律使用原子笔及无尘笔记本做记录,一般纸张与铅笔不得携入










清洁规定:(1)清理洁净室内的墙时应应用洁净室无尘擦拭布;(2)用90%去离子水和10%的配备清洁液;(3)应用已获准许的洁净室除污剂;(4)每日都要查验车间和储备间的垃圾桶,并立即清走。(5)每片木地板都要吸尘。每一次交班时,都应在地图上标出工作中进行状况,例如在哪儿完毕从哪逐渐。(6)清理洁净室的路面应应用拖布。(7)在洁净室里吸尘应应用含有送风口的真空泵吸尘器。(8)全部的门都必须查验并擦拭
压力差的维持依靠新风量,这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义就是漏泄(或渗透)风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。对于乱流洁净室由于主要靠空气的稀释作用来减轻室内污染的程度,所以主要用换气次数这一概念,泰州无尘室净化车间,而不直接用速度的概念,不过对室内气流速度也有如下要求:1.送风口出口气流速度不宜太大,和单纯空调房间相比,要求速度衰减更快,扩散角度更大。2.吹过水平面的气流速度(例如侧送时回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返气流,而造成再污染,这一速度一般不宜大干0.2m/s。


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