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工作台就设在“隧道内”。按受控粒子的性质划分(1)工业洁净室:受控粒子为尘埃等非生物粒子的洁净室。(2)生物洁净室:受控粒子为生物粒子的洁净室。实现洁净度要求的通风措施编辑洁净室要达到洁净等级,必须有综合措施。
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洁净室之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。
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当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。
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