罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转，被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内，再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态，所以，在泵腔内气体没有压缩和膨胀。水环式真空泵、旋片式真空泵以及罗茨真空泵都是作为真空泵机组前级泵的选择之一，了解了它们各自的工作原理，我们自然也就大致了解了机组的运行原理，可以帮助用户更好的使用。
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水环式真空泵工作原理：水环式真空泵叶片的叶轮偏心地装在圆柱形泵壳内。泵内注入一定量的水。叶轮旋转时，搅拌真空箱，将水甩至泵壳形成一个水环，环的内表面与叶轮轮毂相切。旋片式真空泵（简称旋片泵）是一种油封式机械真空泵。其工作压强范围为101325~1.33×；10-2（pa）属于低真空泵。它可以单独使用，搅拌真空箱哪家优惠，也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。它已广泛地应用于冶金、机械、、电子、化工、轻工、石油及等生产和科研部门。
真空机组所用油的防护措施有：选用带有油封装置的真空泵并对其安装离心式分别器等装置，油装置的安装可以减少润滑油的变化程度使之呈现原有的效果，也可以减少真空机组换油的频率以及提高机器的使用效率。
真空机组所用油对比于其他机器来说有很大的不同，并且会非常注意所拥有的氧化程度。因为润滑油在机器不使用的状态下会接触到空气中的氧气或其他金属物质，会在一定温度下的加速氧化程度使油品的PH值呈酸性，其用油的粘度也会随之发生变化。
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