对一些精密复杂的模具可采用预先热处理、时效热处理、调质氮化热处理来控制模具的精度。
在修补模具砂眼、气孔、磨损等缺陷时，选用冷焊机等热影响小的修复设备以避免修补过程中变形的产生。
热处理厂阐述另外，正确的热处理工艺操作(如堵孔、绑孔、机械固定、适宜的加热方法、正确选择模具的冷却方向和在冷却介质中的运动方向等)和合理的回火热处理工艺也是减少精密复杂模具变形的有效措施。
国内真空炉的压升率应不大于1.33Pa/h，国外某些公司的规范为0.67Pa/h。真空加热以辐射为主，工件在炉内大概坚持距离.升温过程中，工件及炉内资料会放气，使真空度降低.8，东城真空热处理，真空回火、真空退火、真空固溶处置及真空时效的加热温度通常与惯例处置时加热温度一样.真空热处理真空回火炉大概具有快冷设备。冷却水的压力大概大于0.2Mpa，真空热处理，流量应可调.冷却气体：钢通常选用百分之99.99纯度的氮气，高温合金选用百分之99.99的氢气或亚气，钛合金选用百分之99.99的亚气.真空热处理升温：放入工件后，石碣真空热处理，通常先预抽至6.67Pa时方可升温加热。
我们知道热处理过程中加热过热易导致奥氏体晶粒的粗大，寮步真空热处理，使零件的机械性能下降。一般过热：加热温度过高或在高温下保温时间过长，引起奥氏体晶粒粗化称为过热。粗大的奥氏体晶粒会导致钢的强韧性降低，脆性转变温度升高，增加淬火时的变形开裂倾向。而导致过热的原因是炉温仪表失控或混料（常为不懂工艺发生的）。过热***可经退火、正火或多次高温回火后，在正常情况下重新奥氏化使晶粒细化。
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