东莞东欧真空设备-爱发科真空泵维修工厂-东莞爱发科真空泵维修

真空泵结构特点，转子具有良好的几何对称性，故振动小，爱发科真空泵维修哪家优惠，运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙，不用润滑，摩擦损失小，爱发科真空泵维修哪家便宜，可大大降低驱动功率，从而可实现较高转速.

要注意真空泵当时的运行状况叶轮由于长时间的锈蚀和冲蚀，而且材质为铸铁，比较脆，容易碎裂，东莞爱发科真空泵维修，碎裂后对泵体造成严重的磨损，严重的甚至造成泵的报废，影响生产。

一般用作质谱仪真空系统的前级真空泵、用作色谱仪的进样真空泵以及其它真空系统， 广泛应用于生物、***、法医、石化、农林、生命科学、航空航天等领域。

在排除以上两个因素后， 引起真空泵抽不到极限真空度的主要原因有以下几个方面: 泵油污染， 需要换油; 泵内油过滤器堵塞， 引起压缩注油系统油路不畅， 供油不足， 导致泵体密封不严， 这时需要清洗内部油过滤器; 配油器阀门变形，爱发科真空泵维修工厂， 磨损或损坏， 也可导致供油不足， 这时应检查更换配油器阀门; 

应用

目标应用包括：

负载锁

计量

传输腔

灰化/剥离

PVD

主要特性和优势

占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一，EPX 显著节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧，增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和 安装成本，如果需要也可远程使用。  

受保护的泵机构 - EPX 可以从大气压抽空到 UHV 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。  

超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑，这可能成为制程 工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承油脂，并且不存在 任何其他的潜在污染源。  

非常可靠 - EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，通常 每 5 年维修一次，地延长了泵的 使用寿命。

运转时的噪声低至 56 dB(A)，可在洁净室内实现低噪声。