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广东省科学院半导体研究所

普通会员4
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企业等级:普通会员
经营模式:生产加工
所在地区:广东 广州
联系卖家:曾经理
手机号码:15018420573
公司官网:www.micronanolab.com
企业地址:广州市天河区长兴路363号
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企业概况

广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,其前身是2010年10月在成立的广东半导体照明产业技术研究院。2015年6月经省政府批准,由原广东省科学院、广东省工业技术研究院(广州有色金属研究院)、广东省测试分析研究所(中国广州分析测试中心)、广东省石油化工研究院等研究院所整合重组新广......

半导体加工(图)-反射溅射真空镀膜多少钱-上海真空镀膜多少钱

产品编号:1000000000023292582                    更新时间:2023-03-16
价格: 来电议定
广东省科学院半导体研究所

广东省科学院半导体研究所

  • 主营业务:深硅刻蚀,真空镀膜,磁控溅射,材料刻蚀,紫外光刻
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真空镀膜冷水机的工作原理:

制冷循环采用逆卡若循环,该循环由两个等温过程和两个绝热过程组成;其过程如下:

(1)等温过程--液体吸热气化形成蒸汽的传热与液体汽化潜热的传递平衡关系式为 q=kt 式中 k--常数 ,称为亨利定律; t --时间 。

(2)绝热压缩过程--利用蒸气压缩来实现制冷循环的两个不同温度的中间介质的换热遵循可逆卡诺尔公式 c =-lg(r22+h22 ) 式中 r22 --中间介质的平均温度 ( °C ), h22 --中间介质的温度 (°C )。

当 r 22 -1 时称做阶段或低温区 ;当 r 22-2 时称做第二阶段或高温区;两者之差即代表该阶段的温差(或称焓值);此温差的大小取决于两相物质的性质及其比容的变化情况而定。

(3)再加热的过程--把经过绝热的低温区的工质重新吸入到高温区内实现再加热的过程称为回热或逆卡若循环。




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在高压作用下Ar原子电离成为Ar+离子和电子,产生等离子辉光放电,电子在加速飞向基片的过程中,受到垂直于电场的磁场影响,使电子产生偏转,被束缚在靠近靶表面的等离子体区域内,电子以摆线的方式沿着靶表面前进,上海真空镀膜多少钱,在运动过程中不断与Ar原子发生碰撞,电离出大量的Ar+离子,与没有磁控管的结构的溅射相比,离化率迅速增加10~100倍,因此该区域内等离子体密度很高。

经过多次碰撞后电子的能量逐渐降低,摆脱磁力线的束缚,终落在基片、真空室内壁及靶源阳极上。而Ar+ 离子在高压电场加速作用下,与靶材的撞击并释放出能量,导致靶材表面的原子吸收Ar+离子的动能而脱离原晶格束缚,呈中性的靶原子逸出靶材的表面飞向基片,并在基片上沉积形成薄膜。




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哪些溅射靶材可用于热反射镀膜

目前汽车玻璃镀膜常用的溅射靶材有Cr、Fe、Sn、Si、Zn、Mn、Ti、Al、Ag、Ni、Ni/Cr、Cu、Ni/Cu等不同规格的溅射靶材, 如下:

铬溅射靶材

铬溅射靶材广泛应用于五金工具镀膜、装饰镀膜、平板显示器镀膜。五金涂层用于各种机械和冶金应用,例如机器人工具、车削工具、模具(铸造、冲压)。涂膜厚度一般为2~10um,要求硬度高、磨损小、耐冲击、耐热冲击、附着力强。现在,铬溅射靶材普遍应用于玻璃镀膜行业。重要的应用是汽车后视镜的制备。随着汽车后视镜的要求越来越高,很多企业已经从原来的镀铝工艺转向真空溅射镀铬工艺。


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