MEMS微纳加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
微纳加工技术的特点MEMS技术适合批量生产。
众所周知，微纳米技术是我国贯i彻落实“中国制造2025”和“中国创新2030”的重要举措与中心技术需求，阳极键合微纳加工平台，是促进制造业高i级化、绿色化、智能化的重要基础。基于物体微米、纳米尺度独i特的物理和化学特性，研制新材料、新工艺、新器件的微纳制造技术，已经成为战略性新兴产业中心技术，必将对21世纪的航空、航天、信息科学、生命科学和健康***、汽车工业、仿生机器人、交通、家具生活等领域产生深远的影响。推进微纳制造技术产业化落地，探讨产业化路径，遴选优良产业化示i范项目。
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MEMS微纳加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，广州阳极键合微纳加工，以及行业应用技术开发。
对于企业来说，选择微纳加工可以缓解企业暂时没有研发设备、材料和大量资金进行运作;或者说产品的周期比较短却需要快速扩大规模，这时微纳加工就是不错的选择。这样的企业、科研机构或者高校，可以选择两种微纳加工模式︰
1.外包给纯微纳加工公司;或者外包MEMS制造和设计给微纳加工公司。
2.外包部分。企业自己设计，阳极键合微纳加工价格，微纳加工公司进行执行。企业需要微纳加工公司进行设计支持，阳极键合微纳加工价钱，也可提供知识产权等。
微纳加工模式的好处在于:相比企业投入大量的设备和资金，微纳加工只需投入少量的研发费用，就能获得同样的结果，是新型公司的选择。
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MEMS微纳加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
微纳加工设备主要有：光刻、刻蚀、成膜、离子注入、晶圆键合等。
目前微纳制造领域较常用的一种微细加工技术是LIGA。这项技术由于可加工尺寸小、精度高，适合加工半导体材料，因而在半导体产业中得到普遍的应用，其较基础的中心技术是光刻，即***和刻蚀工艺。随着LIGA技术的发展，人们开发出了比较多种不同的***、刻蚀工艺，以满足不同精度尺寸、生产效率等的需求。LIGA技术经过多年的发展，工艺已经相当成熟，但是这项技术的基本原理决定了它必然会存在的一些缺陷，比如工艺过程复杂、制备环境要求高（比如需要净化间等）、设备投入大、生产成本高等。
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