一个完整的无尘车间少不了净化设备，无尘室工程，那么无尘车间通常用到哪些净化设备呢？
一）净化无尘车间工程进风系统要安装：新风过滤箱，万级无尘室，***净化空调（***净化空调要分为初效/中效/高1效三个过滤段）末端有高1效送风口。有必要时还装有净化增压箱；
二）无尘车间回风系统要安装：回风口，过滤初效器，中效回风箱；
三）进入无尘车间之前***入缓冲区，缓冲区门安装电子互锁，更衣处放置洁净储衣柜空气清新机；
四）人和货物进入无尘净化车间须经过风淋室，货淋室，传递窗主要传递小物品；
五）在无尘净化车间内局部需要达到10-1000级地方安装垂直层流工作台，层流罩，洁净棚（可移式净化工作棚），自净器。测无尘室洁净度用，无尘室，激光尘埃粒子计数器；
六）无尘厂房要设计观察窗方便参观。
洁净室的气流速度/换气次数，一直是洁净室设计中受到关注的问题，随着洁净室污染源的控制效果增加及末级过滤器效率的提高等，对有关规范、导则等提出的推荐或参考值是否偏于保守，已有不少讨论；FFU在应用中人们担心的噪音、损坏维修等问题已在实践中得到解决，随着FFU的不断改进，对是否采用FFU回风系统也是个热点：悬浮分子污染（AMC）的控制在微电子及IC工业中已日益提到日程上来，受到关注。以下对这些问题的情况分别作归纳和分析。
无尘室工程概述
无尘室工程(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。没有无尘室，污染敏感零件不可能批量生产。在 FED-STD-2里面，无尘室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间，其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、***空气、细1菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。
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