光学镀膜何原理?工艺是否合格呢?光学镀膜用于增强光学组件的透射、反射或偏振特性。例如,每个未镀膜玻璃器件表面将会有大约10%的入射光被反射。采用增透膜可将各表面的反射率降低到 0.1% 以下,为了地提高或降低干涉,它们的光学厚度通常为应用中所使用的光的波长的 λ/4 光学厚度 (QWOT) 或 λ/2 光学厚度 (HWOT)。这些薄膜由高折射率和低折射率交替而成,浙江外壳光学镀膜,从而诱发需要的干涉效应







在 IBS 过程中,各层的折射率也可以变化,这进一步提高了工艺控制水平。5 IBS 以其精度和可重复性著称,是激光光学镀膜的镀膜沉积技术。IBS的缺点是,外壳光学镀膜定做,成本比其他技术更高,外壳光学镀膜工厂,因为在光元件中产生了更长的周期时间和应力,这可能导致变形和光学畸变。在离子束溅射 (IBS) 过程中,外壳光学镀膜订制,强电场使离子束上的离子加速到目标上,从而释放出更多的离子,在旋转的基片上沉积一层致密的薄膜

等离子溅射在蒸发沉积和离子束溅射之间实现了价格和性能的折中。离子束溅射 (IBS)在离子束溅射 (IBS) 过程中,利用高能电场加速离子束(图 5)。这一加速度会给离子提供显著的动能 (~10-100 eV)。当源材料受到冲击时,源材料离子从目标“溅射”,并在与光学表面接触后形成致密膜。5 使用 IBS 镀膜而不是蒸发沉积的一个主要优点是能够更地监测和控制单个镀膜的生长速度、能量输入和氧化水平。
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