无尘室(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、***空气等污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。
进入无尘车间的有哪些清洁要求?
（1）清洁洁净室内的墙时应使用洁净室无尘布；
（2）用90%去离子水和10%的异丙1醇配置清洁剂；
（3）使用已获批准的洁净室去污剂；
（4）每天都要检查车间和整备间的垃圾箱，并及时清走。
（5）每块地板都要吸尘。每次交接班时，都应在地图上标明工作完成情况，净化实验室工程，例如在哪结束从哪开始。
（6）清洁洁净室的地面应使用拖把。
（7）所有的门都需要检查并擦干。
（8）吸完地以后再擦地。一周擦一次墙面。
（9）架空地板下也要吸尘及擦拭。
（10）三个月擦一次架空地板底下的柱子和支撑柱。
（11）工作时一定要记住，是由上往下擦，从离门远的地方向门的方向擦。
根据洁净室车间空气循环特点可以将洁净室分为三种类型：循环空调机配合送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU循环系统。
种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用，净化实验室造价，对于大面积高等级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。
第二种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间大面积高等级的要求，但运行成本较高，净化实验室报价，并且洁净室风速、风量调节困难，系统升级改造困难，因此操作灵活性很低。
第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低，而且操作灵活性很高，可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整，这些都能很好地满足半导体制造的需求，因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为1主要的净化设计方案。
湿度无非是在施工过程中对水汽的控制。在干燥的天气，舟山净化实验室，放置几个加湿器；在湿润的天气进行一定的除湿工作即可。而温度在日常生活中是相对好控制的，但在无尘车间厂家的施工过程中其实是一个难题。可能有些人会觉得奇怪，温度不是靠空调可以轻易控制的吗？而实际上，在无尘车间厂家施工的过程中，设备是不可避免地会产生热量，这会使得室内的温度升高，而空调往往无法做到及时调整温度。
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