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广东省科学院半导体研究所

普通会员4
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所在地区:广东 广州
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手机号码:15018420573
公司官网:www.micronanolab.com
企业地址:广州市天河区长兴路363号
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广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,其前身是2010年10月在成立的广东半导体照明产业技术研究院。2015年6月经省政府批准,由原广东省科学院、广东省工业技术研究院(广州有色金属研究院)、广东省测试分析研究所(中国广州分析测试中心)、广东省石油化工研究院等研究院所整合重组新广......

湖北钨金属真空镀膜-半导体测试-钨金属真空镀膜价格

产品编号:1000000000023336611                    更新时间:2023-03-17
价格: 来电议定
广东省科学院半导体研究所

广东省科学院半导体研究所

  • 主营业务:深硅刻蚀,真空镀膜,磁控溅射,材料刻蚀,紫外光刻
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钨金属真空镀膜MEMS真空镀膜加工平台——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,立足于广东省经济社会发展的实际需要,钨金属真空镀膜价钱,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。


哪些溅射靶材可用于热反射镀膜

目前汽车玻璃镀膜常用的溅射靶材有Cr、Fe、Sn、Si、Zn、Mn、Ti、Al、Ag、Ni、Ni/Cr、Cu、Ni/Cu等不同规格的溅射靶材, 如下:

铬溅射靶材

铬溅射靶材广泛应用于五金工具镀膜、装饰镀膜、平板显示器镀膜。五金涂层用于各种机械和冶金应用,湖北钨金属真空镀膜,例如机器人工具、车削工具、模具(铸造、冲压)。涂膜厚度一般为2~10um,要求硬度高、磨损小、耐冲击、耐热冲击、附着力强。现在,铬溅射靶材普遍应用于玻璃镀膜行业。重要的应用是汽车后视镜的制备。随着汽车后视镜的要求越来越高,很多企业已经从原来的镀铝工艺转向真空溅射镀铬工艺。


欢迎来电咨询半导体研究所哟~钨金属真空镀膜


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同样,靶材块的晶体结构、颗粒结构、硬度、应力以及杂质等参数也会影响到溅射速率,钨金属真空镀膜服务价格,而这些则可能会在产品上形成条状的缺陷。这也需要在镀膜期间加以注意。不过,这种情况只有通过更换靶材才能得到解决。

靶材损耗区自身也会造成比较低下的溅射速率。这时候,为了得到优良的膜层,必须重新调整功率或传动速度。因为速度对于产品是至关重要的,所以标准而且适当的调整方法是提高功率。



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溅射靶材均匀性对大面积镀膜的影响

对于合金溅射靶材来说,往往存在材料分布不均的情况。如***靶材中铝团聚,锌铝靶材中铝偏析(铝的原子质量比锌的原子质量65少27。铝在浇注后冷却过程中会上浮,导致铝含量一侧高另一侧低)。由于熔点低,***靶中的团聚铝在溅射成膜时很容易掉渣,而在喷涂过程中加入的铝量是一定的。一部分铝团聚表明其他位置的铝含量较少,影响了硅靶的热导率和电导率。所以溅射速率不一致,成膜均匀性差,靶材,靶材放电加剧。它还降低了成膜质量。靶材成分的偏析会影响溅射速率(薄膜均匀性)和薄膜成分。因此,除了控制靶材的纯度外,合金靶材的分布也很关键。


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