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哪些溅射靶材可用于热反射镀膜
目前汽车玻璃镀膜常用的溅射靶材有Cr、Fe、Sn、Si、Zn、Mn、Ti、Al、Ag、Ni、Ni/Cr、Cu、Ni/Cu等不同规格的溅射靶材, 如下:
铬溅射靶材
铬溅射靶材广泛应用于五金工具镀膜、装饰镀膜、平板显示器镀膜。五金涂层用于各种机械和冶金应用,湖北钨金属真空镀膜,例如机器人工具、车削工具、模具(铸造、冲压)。涂膜厚度一般为2~10um,要求硬度高、磨损小、耐冲击、耐热冲击、附着力强。现在,铬溅射靶材普遍应用于玻璃镀膜行业。重要的应用是汽车后视镜的制备。随着汽车后视镜的要求越来越高,很多企业已经从原来的镀铝工艺转向真空溅射镀铬工艺。
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同样,靶材块的晶体结构、颗粒结构、硬度、应力以及杂质等参数也会影响到溅射速率,钨金属真空镀膜服务价格,而这些则可能会在产品上形成条状的缺陷。这也需要在镀膜期间加以注意。不过,这种情况只有通过更换靶材才能得到解决。
靶材损耗区自身也会造成比较低下的溅射速率。这时候,为了得到优良的膜层,必须重新调整功率或传动速度。因为速度对于产品是至关重要的,所以标准而且适当的调整方法是提高功率。
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溅射靶材均匀性对大面积镀膜的影响
对于合金溅射靶材来说,往往存在材料分布不均的情况。如***靶材中铝团聚,锌铝靶材中铝偏析(铝的原子质量比锌的原子质量65少27。铝在浇注后冷却过程中会上浮,导致铝含量一侧高另一侧低)。由于熔点低,***靶中的团聚铝在溅射成膜时很容易掉渣,而在喷涂过程中加入的铝量是一定的。一部分铝团聚表明其他位置的铝含量较少,影响了硅靶的热导率和电导率。所以溅射速率不一致,成膜均匀性差,靶材,靶材放电加剧。它还降低了成膜质量。靶材成分的偏析会影响溅射速率(薄膜均匀性)和薄膜成分。因此,除了控制靶材的纯度外,合金靶材的分布也很关键。
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