真空热处理是负压气氛下的热处理，其加热过程称为真空加热。这个过程要维持的气压状态（工作压力或工作真空度一般在10010-3Pa左右。根据气体分析，真空热处理，真空炉在此压力下的残余气体，如水蒸气、氧气、二氧化碳、油脂等有机蒸气含量很小，不足以使处理后的金属材料产生氧化、脱碳、渗碳等。真空加热时，由于大气中的氧分压低于被加热金属表面氧化物的分解压力，中堂真空热处理，氧化受到***，因此处理后的金属表面亮度与原始表面相比可以在很大程度上保持不变。可见，真空不仅能保护工件不受热，还能保持金属原有的光亮表面，所以真空热处理也属于光亮热处理范畴。
热处理工艺一般包括加热、保温、冷却三个过程，其中加热是为了让珠光体向奥氏体转变，保温是完全奥氏体化，冷却方法因工艺不同而不同，主要是控制冷却速度，因冷却速度不同而分别转变为珠光体、贝氏体、马氏体或混合***。通常淬火时希望得到马氏体，淬火之后进行回火时根据回火温度的不同分别得到回火马氏体（低溫）、托氏体（屈氏体，中溫）、索氏体（高温）。基本反映了共析钢在不同温度下转变需要的孕育时间和转变完成时间及其转变产物。
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