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净化车间技术对我国电子信息产业发展意义重大，因为它与产品的成品率有着直接关系。电子行业对生产环境的要求非常高，特别是对直径小于1微米的颗粒特别敏感，净化***室装修，因为它们能引起金属层之间的短路。因此建设电子厂净化车间是非常有必要的。

??目前由于国际上大型电子企业纷纷到中国建厂，建设电子厂净化车间的需求也随之增加，中国的净化车间企业也快速发展。随着我国工业发展的日益高科技化，产品日益精密化、微型化，对洁净环境的依赖也越来越强，电子厂净化车间在我国存在着巨大的市场空间。

根据洁净室车间空气循环特点可以将洁净室分为三种类型：循环空调机配合送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU循环系统。

种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用，对于大面积高等级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。

第二种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间大面积高等级的要求，但运行成本较高，并且洁净室风速、风量调节困难，克拉玛依净化***室，系统升级改造困难，因此操作灵活性很低。

第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低，而且操作灵活性很高，可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整，这些都能很好地满足半导体制造的需求，因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为1主要的净化设计方案。

无尘车间硬件设施的维护管理

1.无尘车间保持适当的正压(> 0.5mmAq)，防止洁净系统漏风。人员、设备和原材料进入无尘车间前，净化***室价格，应做好清洁、擦拭等防尘工作，并妥善管理和设置空气过滤器。

2.防止室内粉尘产生:注意无尘车间材料的正确选择，如隔板和地板；制造设备的防尘、生产自动化和人员不聚集、清洁服装的管理、无尘车间设备的使用等。

3.室内灰尘不堆积:墙体应光滑无死角，无尘车间应定期维护和清洁，工艺设备周围应留有空间。

4.发生尘埃立即排除。