氦质谱检漏仪的检漏方式
氦质谱检漏仪的检漏方式通常有两种，一种为常规检漏，另一种为逆扩散检漏。逆扩散原理如图所示。逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端，漏入的氦气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。这一检漏方式是基于分子泵对不同质量的气体具有不同压缩比（气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比）即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。
氦气检漏仪的工作原理是什么？
主要有离子源、分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计组成，离子源是气体电离，形成一束具有特定能量的离子，分析器是一个均匀的磁场空间，不同离子的质荷比不同；在磁场中就会按照不同轨道半径运动而进行分离，再设计时只让氦离子飞出分析器的缝隙；打在收集器上，充气柜检漏系统，收集放大器收集氦离子流并出入到电流放大器，通过测量离子流就可知漏率。
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检漏仪的优点
1、多种语言和计量单位选择，可选中文界面。
2、135o 电离偏转 (自然聚焦点)的全新质谱技术，检漏系统，金属密封结构。
3、新的电子线路及信号处理设计。
4、小可检漏率高、灵敏度覆盖范围可达12个量程。
5、快速清氦和快速响应。
6、测试口耐压高，可实现大漏检漏。
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