超纯水初是美国科技界为了研制超纯材料(半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等)应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术生产出来的水，如今超纯水已在生物、、汽车等领域广泛应用。这种水中除了水分子(H20)外，几乎没有什么杂质，更没有***、病毒、含氯等有机物，当然也没有***所需的矿物质微量元素，超纯水无硬度，口感较甜，又常称为软水，可直接饮用，也可煮沸饮用。
活性炭难吸附物质类型：1、醇类;2、纸分子酮、酚醛;3、糖、淀粉;4、分子量很高的有机物或胶体有机物;综上所述，活性碳具有降低水的氧化要求、避免有机物进入以致***离子交换床、去除水中残留的氯的作用。经活性碳过滤后的水再进入R.O反渗透过装置。反渗透膜的孔径一般为10A到100A之间，所以它能够去除95%以上的离子态杂质。高纯水设备的EDI工艺系统选用经过一次反渗透除盐后的水作为进水
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