




超纯水的水质直接关系到半导体成品率
在半导体生产中,超纯水可用于晶圆漂洗、化学稀释、化学机械研磨、洁净室环境的加湿源等。超纯水的质量直接关系到半导体的成品率,半导体纯水设备价格,随着半导体元件尺寸的缩小和细度的提高,对超纯水质量的技术要求也在不断提高。
在超纯水生产过程中,只要微粒子、电阻率和TOC与气泡中的某一指标稍有差异,就会使半导体元件生产的合格率下降。
导致超纯水水质恶化的原因有哪些?
导致超纯水水质恶化的原因有哪些?1、存储 储存:由于超纯水中溶解离子的浓度很低甚至不存在,半导体纯水设备安装,超纯水很容易从外部环境中吸收离子污染物。由低级塑料和玻璃制成的储水器将溶解离子和有机物,增加水的电导率,半导体纯水设备,降低水质。因此,半导体纯水设备定制,建议使用溶解性低的高等级聚乙烯储水器。 2、通气口 通气口:大多数储水器都有一个排气口,用于取水期间的空气循环。当通气口吸入外部空气时,会将空气中的CO2、***、颗粒和挥发性有机化合物一并吸入。这些会污染储水器中超纯水。因此,通气口应配备空气过滤器,以防止有机物、***和CO2进入储水器。
1、温度表
系统的产水量与温度有关,为了求出“标准化”后的产水量,需对温度进行监测,所以就有了温度表。
2、电导率表
系统安装有给水电导率表(可设置报警),可根据该表的数据估计出RO的脱盐率。
3、压力表
系统安装的出水压力表、给水压力表、排水压力表,主要是用于计算反渗透水处理设备的每一段压降,更直观的了解产水量和盐透率。

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