MEMS微纳加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，功率器件微纳加工平台，兼顾重大技术应用的基础研究，MEMS微纳加工平台，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
微纳制造技术较早是由加工精度研究的角度延伸出来的。
微纳加工技术指尺度为亚毫米、微米和纳米量级元件以及由这些元件构成的部件或系统的优化设计、加工、组装、系统集成与应用技术，涉及领域广、多学科交叉融合，其较主要的发展方向是微纳器件与系统（MEMS和NEMS）。微纳器件与系统是在集成电路制作上发展的系列专i用技术，研制微型传感器、微型执行器等器件和系统，具有微型化、批量化、成本低的鲜明特点，微纳加工技术对现代的生活、生产产生了巨大的促进作用，并催生了一批新兴产业。
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MEMS微纳加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，硅硅键合微纳加工平台，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
微纳检测主要是表征检测：原子力显微镜、扫描电镜、扫声波扫描显微镜、白光干i涉仪、台阶仪等。
电铸是利用金属的电解沉积原理来精i确复i制某些复杂或特殊形状工件的特种加工方法。它通过在母模上沉积金属层的增材制造技术来制备微结构。这种加工法的复i制精度和重复精度高，适用范围广，可用于制造精密、复杂内型面零件。但因技术原理的限制，广州微纳加工平台，电铸铸层质量不稳定，易出现麻点、晶粒粗大、应力过大等缺陷，致使铸层物理特性和力学性能下降，严重时零件需报废。模型加工法是利用微纳米尺寸的模具复i制出相应的微纳米结构。该方法主要适用于具有热塑性的材料，如高分子塑料，金属玻璃等。首先，将加热台上的热塑性材料与微模型加热到一定温度；热塑性材料因黏度降低软化后，对其施加一定的应力使其在微模型中进行充型流动；末尾微模型上的微纳米结构便成功转移到热塑性材料的表面上。
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我造技术的研究从其诞生之初就一直牢据行国的微纳制造技术的研究与世界***水平业的杰出位置。
聚合物微纳系统是较具应用前景的微纳机电系统之一，按照微纳制品的空间结构形式可以分为一维、二维和三维微纳制造。一维微纳制造：微流控芯片、导光板、纳米薄膜、微纳过滤材料、微纳复合材料及器件等；二维微纳制造：纳米纤维、纳米中空纤维等；三维微纳制造：微泵、微换热器、微型减速器、微型按插件等。聚合物是许多微纳米系统的基础材料，聚合物微纳系统是较有希望在近期实现实际应用的系统之一，聚合物微纳尺度制造科学与技术在微纳制造技术中占有极其重要的地位。聚合物微加工工艺除了LIGA加工、准LIGA加工、小机械加工、超声波加工、等离子体加工、激光加工、离子束加工、电子束加工和快速成形等工艺外，还包括微注塑成型、微挤出成型以及微压印成型等。
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