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准分子激光首先被应用在工业上:美国IBM公司开始使用并且改进准分子激光技术，主要应用在计算机芯片的制造以及塑料物质上蚀刻准的图形。准分子激光是氟氢气体混合后经激发产生一种人眼看不见的超紫外线的光束，属冷激光，能消融人预计要除掉部分，而不损伤周围***和其他***，它的效果是久性的。准分子激分类及用途：含氟准分子激体。准分子激是多组份混合气体，其输出波长是稀有气体（或卤素）结合作用的结果。准分子是稀有气体（或卤化物）的分子的名称。通过含氟准分子激体能产生四种波长的光波（或谱线）。
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