刻蚀机主要分类：电容电感两种方式，显影清洗机，优势互补刻蚀按照被刻蚀材料划分，主要分为硅刻蚀、介质刻蚀以及金属刻蚀。不同的刻蚀材质其所使用的的刻蚀机差距较大。干法刻蚀的刻蚀机的等离子体生成方式包括***（电容耦合）以及ICP（电感耦合）。而由于不同方式技术特点的不同，他们在下游擅长的应用领域上也有区分。***技术能量较高、但可调节性差，适合刻蚀较硬的介质材料（包括金属）；ICP能量低但可控性强，适合刻蚀单晶硅、多晶硅等硬度不高或较薄的材料。
面板显示使用的是玻璃基板作为电路的载体，显影腐蚀台，所有的膜质以及对膜质光刻后的图形都是依附在玻璃基板上。在每次成膜或者光刻前都要对玻璃基板表面进行深入清洁，虽然玻璃基板是在无尘车间里运行，显影，但是，还是会存在各种***（particle）：无机类***和有机类***，所以，清洗设备的较大作用就是去除表面的***，显影设备，来提升产品的整体良率。
与此同时，规模化的洗涤公司遍及大街小巷．大大小小的家庭清洁．保洁公司大量出现，民用清洗领域呈现商业化。随着我国国民经济的持续高速发展．人们对日常生活质量提出了更高的要求，从远古以来．人类就了解和掌握了一些与自身有关的清洗知识．在古代，人们除了用清水去除沾附在身体和衣物上的泥沙之外，还知道用草木灰去除衣物上的油性污垢．纯碱和肥皂是人类至今仍然在大量使用的历史悠久和普遍的清洗用品．
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