此方法适用于除去氧化膜或有机物。因为化学物质在硅片表面停留的时间比较短,对反应需要一定时间的清洗效果不好。在喷洗过程中所使用的化学***很少,对控制成本及环境保护有利。
随着集成电路制程工艺节点越来越***,对实际制造的几个环节也提出了新要求,清洗环节的重要性日益凸显。
清洗的关键性则是由于随着特征尺寸的不断缩小,半导体对杂质含量越来越敏感,而半导体制造中不可避免会引入一些颗粒、有机物、金属和氧化物等污染物。为了减少杂质对芯片良率的影响,实际生产中不仅仅需要提高单次的清洗效率,还需要在几乎所有制程前后都频繁的进行清洗,清洗步骤约占整体步骤的33%。








济南巴克超声波科技有限公司是一家从事工业清洗设备的研发、制造、销售为一体的高新技术企业,清洗机,总部位于济南市临港开发区,标准化厂房面积13000余平方米。员工人数:150余人,拥有工程技术人员20余人,新设备研发人员:10余人,***人员:10余人。年产值4000多万元。
旋转喷淋清洗机简介
旋转喷淋清洗机
机器在夏季不宜连续工作较长时间,经长时间运行的清洗机,在停机前应首先将功率旋钮调至零位,使用其风机再工作3~6分钟后关机,以保证电源内部热量散出;2000年成立济南鑫能信洗净设备有限公司,于2007年公司和山东大学合作注册济南巴克超声波科技有限公司,多槽超声波清洗机,从事超声波清洗设备、中高压喷洗设备的的研发、制造与销售。总部位于济南市临港开发区,总注册资本金800万元,标准化厂房面积13000余平方米,年产值4000多万元。
公司于2008年通过了ISO9001质量管理体系认证和欧盟CE标准认证,碳氢清洗机,先后与国外80多个***合作,并与中国航发、大众、华为、小松机械、伊顿、沃德、长城、重汽、美利信、费斯托、中车、中航工业等企业达成长期战略合作关系。
旋转喷淋清洗机简介
旋转喷淋清洗机
该设备适用于各类工件的外表面清洗,如波峰焊治具的清洗,回流焊冷凝器的清洗,各类五金零件加工后的清洗,设备拆卸后的部件清洗,汽车配件,汽车零部件清洗机,各种壳体、箱体等。该设备在运行中,工件在清洗篮内随清洗篮旋转,同时喷淋系统高压喷射加温的清洗液,可以使工件得到清洗。
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