目前市场上定向微焦点x射线设备的焦点尺寸可低至0.25-3μm，并可以在0-300kV内连续工作，靶功率为300W，发射功率可达350W。为了散发高能量产生的热量，管头通常采用外部水冷却或内部水冷两种。采用开放式涉及，可以打开管头更换不同的阳极靶，以满足特殊检测需求。还可以改变管头窗口，甚至移走靶，用阳极棒取代。这些管头阳极棒的直径为3~80mm，长度可达1500mm。因为阳极棒直径比较小，所以能对管类工件进行单壁透照，苏州元器件失效分析，获得较高缺陷检测灵敏度和分辨率。
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