同时这些气体还要与金属中的碳发生反应，使其表面脱碳。如果炉中含有一氧化tan或甲wan气体，还会使金属表面增碳。对于化学性质非常活泼的Ti、Zr以及难溶金属W、Mo、Nb、Ta等，在空气炉中加热，除了要生成氧化物、氢化物、氮化物外，还要吸收这些气体并向金属内部扩散，使金属材料的性能严重恶化。
这些氧化、脱碳、增碳、吸气甚至产生腐蚀等弊病，在可控气氛炉或盐浴炉中加热，有时也难以避免。为解决这一问题，通常的做法是在工件热处理前留有加工余量，热处理后在加工去掉氧化、脱碳层等。
利用金属在真空状态下的变相特点，在与大气压只差0.1MPa范围内的真空下，固态相变热力学、动力学不产生什么变化。在制订真空热处理工艺规程时，完全可以依据在常压下固态相变的原理，完全可以参考常压下各种类型***转变的数据。同时，在真空脱气作用下，可以提高金属材料的物理性能和力学性能，在真空状态下加热，真空热处理，金属工件表面元素会发生蒸发现象。金属实现无氧化加热所需的真空度，表面净化作用，实现少无氧化和少无脱。
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