半导体材料(图)-微流控微纳加工服务-台湾微纳加工服务

MEMS微纳加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，台湾微纳加工服务，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，半导体微纳加工服务，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

微纳加工为MEMS提供的技术支持，键合微纳加工服务，让MEMS具有获得更多利润的可能。也就是说，微电子领域快淘汰的工艺在硅片MEMS制造中可以成为技术。微纳加工的商业模式，帮助了MEMS器件开发商，同时也促进了微纳加工工厂的发展。此外50%的新兴公司拥有自己的工厂设备，但还需要有了解工艺技术的人才。由此也突出了对培训的需求。

国外具有规模的半导体公司对MEMS的研究是战略性的主要原因是要通过开发硅的不同特性来应对新的市场。无论是国外还是国内公司，大家对于MEMS的商业模式都有自己的看法。但是，基于微纳加工，MEMS公司在研发上还有很多地方可以更出色。

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微纳制造包括微制造和纳制造两个方面。

平台目前已配备各类微纳加工和表征测试设备70余台套，正在运行一条相对完整的微纳米加工工艺线，涵盖了图形发生、薄膜制备、材料刻蚀、键合封装、表征测试等常见的工艺段，可以进行常见微纳米结构和器件的加工，极限线宽达到10纳米，材料种类包括硅基、碳基、i金属、聚合物、化合物半导体、二维纳米等多种类型材料，可以有力支撑多学科领域的微纳米器件加工以及微纳米结构的表征测试需求，设备总值超过1亿元，整体设备工艺能力达到国内外***微纳加工的水平。

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如今，微挤出成型技术常应用于纳米介入导管、微型光纤和微细齿轮等的制备。

通过在聚合物表面构造微纳米尺度结构及其阵列，可以得到聚合物微纳结构制件，不同种类的微纳结构赋予聚合物制件许多特殊的功能。如具有微槽流道的微流控生物芯片；具有微纳透镜阵列的光学元件，如导光板、偏光板等；具有仿生微结构的疏水薄膜以及具有高深宽比V槽结构的微结构换热器等。上述微结构制件在生物***分析、药i物开发、无痛给药、微反应过程、LCD显示器关键光学材料、高i效换热等场合发挥了重要的作用。随着聚合物成型方法的不断成熟与发展，聚合物微结构器件的种类和应用范围也随之丰富与扩大。

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