广州潽拓光电科技有限公司——岛津涡轮分子泵
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一般情况下，岛津涡轮分子泵，真空泵工作2000小时后应进行检修，检查橡胶密封件老化程度，检查排气阀片是否开裂，清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。清洗真空泵整个泵 腔内的零件，如转子、旋片、弹簧等。一般用qi油清洗，并烘干。对橡胶件类清洗后用干布擦干即可。清洗装配时应轻拿轻放小心碰伤。
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分子泵的原理分子泵是一种动量型真空获得设备，子分子流态下，岛津涡轮分子泵报警代码，气体分子与高速运动的表面发生碰撞获得一定方向的动量，从而使气体分子得到逐级压缩，后被抽除
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涡轮分子泵主要由泵体、带叶片的转子（即动叶轮）、静叶轮和驱动系统等组成。
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