在一些集成电路的精密机械车间中，对于无尘车间的洁净程度更加严格。甚至空气中的温度是需要控制在正负不超过二摄氏度的范围，净化***室价格，原因在于集成电路的零部件极1小，扬州净化***室，微小的温差极可能带来零部件的膨胀或者收缩，直接影响到成品率。
因此无尘车间前需要建设一定面积的缓冲区域，在人员、设备和物料进入无尘车间之前需要先在缓冲区域进行初步的清洁，保证其上含有的污染物被清除，不会对车间内的环境造成负1面的影响。这种缓冲区域称之为风淋车间。
对于无尘车间面积小，较分散；对振动、噪声等的控制要求相对较低的情况下，适合采用分散式空调净化系统。其优点是***费、运行费、占用建筑面积及空间都较集中式系统节省。一个比较典型的分散式空调净化系统为例，分析讨论如下。
??风热湿比线占。
??②根据房间余热量Q或余湿量W，按净化级别所要求的通风量G，确定在占线上的送风状态点S。Q-G（iN -/S）。
??③过S点作等d线，并根据加压风机的压头及其后的管道、静压箱与周围环境的换热决定气流的温升缸，一般情况At的值不大于1℃，根据温升量出，净化***室报价，在过S的等d线确定c-，使At= ts - tc’。
??④根据空调机组在给定条件下的制冷量Qk及空气质量流量G。，确定其单位风量的携冷量△f。即室内回风经空调机组处理后的焓降量iN -/K。
??QK／GK=△f=iN -/K 。
??以N点为圆心，以iN -/K值为半径画弧线与。=90%～95%相对湿度线相交于K点。由N至K点的变化过程应是降温去湿的减焓过程。
??⑤连结K点与Os点。延长N点与C、点的连线与KQs线相交于C点。C点即为新风与经空调机组处理的回风的混合状态点。
无尘车间
无尘车间主要性能参数：
温度范围：18℃～28℃，可调节。
湿度范围：40%～85%，可调节。
换气次数：根据洁净等级要求。
新风量：≥30立方/小时/人。
静压差：≥5Pa(不同洁净等级区域之间)。
静压差：≥10Pa(洁净区域与非洁净区域之间)。
尘粒1多允许数：根据洁净等级要求。
浮游菌数：根据洁净等级要求。
沉降菌数：根据洁净等级要求。
检验方法： 50591-2010。
完1美的外观、合理的设计。
使用的安全及高可靠性。
超静音。
可扩展性。
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