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旋片真空泵的真空度不达标，可由外漏，内漏，油孔梗塞，水环式真空泵，泵油质量不良或净化蜕变，有水汽等可凝性物质，仪器仪表失真，泵运转不正常等引起。
外漏较多时，排气口可看到白色蒸汽，我们常称为冒烟。油标处有较多气泡，手在排气口上可感到排气压力，低级排气阀处油面有较多气泡，功率会有所添加，SZB水环式真空泵，这时，首先应检查气镇阀是否已关好。由于新泵出厂每台都在泵口测极限压力，SK水环式真空泵，所以如有外漏景象，应对泵口及管道，阀门，容器逐一检查。外轴封无效，油标无油，油孔闷头漏气也可形成外漏。
旋片式真空泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。在旋片式真空泵的腔内偏心地安装一个转子，转子外圆与泵腔内表面相切（二者有很小的间隙），转子槽内装有带弹簧的二个旋片。旋转时，靠离心力和弹簧的张力使旋片顶端与泵腔的内壁保持接触，转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。
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