南沙区普发真空分子泵-广州潽拓光电科技

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广州潽拓——维修PFEIFFER DUO 3

双级旋片泵 DUO 2.5/DUO 3 工作原理

旋片式真空泵是油密封的旋转式排量泵。泵系统包括一个壳 体 (1)、一个偏心地

安装的转子 (2)、在离心力和弹力作用下 径向移动的叶片 (3) 以及入口和出口

(4)。入口阀（如配置）被设计为真空安全阀，该阀在操作过程中始终处于打开状 态。

工作室 (5) 位于壳体内，并受到定子、转子和叶片的限 制。偏心安装的转子和叶

片将工作室分为具有可变容积的两 个***舱。当转子转动时，气体流入扩大的吸入

室直至其被 第二个叶片封住。封闭气体然后进行压缩，直到出口阀冲破 大气压力

而开启。出口阀是油封的。当阀打开时，少量的油进入吸入室，不仅能够对其进行

润 滑，而且能够将叶片与壳体（定子）密封开来。

旋片式真空泵的工作原理

在气镇操作的情况下，一个孔向外侧打开，让气体流入前侧 的密封吸入室。因此，

在压缩抽吸阶段，在相对低的压缩下 达到打开出口阀所需的压力。这使得蒸汽开始

冷凝前排出置 换的气体/蒸汽混合物。在操作过程使用气镇达到的终压力 高于无

气镇操作所达到的压力。

工作液、油

泵油，也称为工作液，在旋片式真空泵中泵油有多个任务要 执行。它润滑所有移动

部件，填充出口阀下的固定空间以及 缩小入口和出口之间的间隙。它压缩叶片和工

作室之间的间 隙，此外还通过热传递确保温度平衡。

多级泵

旋片式真空泵是内置的单级和两极版。二极泵比单级泵实现 相对更低的极限压力。

此外，气镇对极限压力的影响较低， 因为气镇仅允许在高压力级使用。

真空安全阀

根据所涉及的泵类型，旋片式真空泵可能配备真空安全阀。 真空安全阀在有意或意

外停顿的情况下将泵与真空室隔离， 并使用置换气体对泵系统进行排气，防止油液

上升到真空室 中。在开启泵后，一旦泵中的压力已达到真空室中的近似压 力，它

稍作延迟就打开。

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   这个特点，可用于安装位置受限制的地方。 我公司从事高真空设备研制、生产、销售、工程安装及***维修服务于一体的综合性企业，由从事多年真空系统开发，真空设备技术研发，维修工程师，工程师组成的一支技术实力，充满活力的高素质团队。伴着严谨的内部项目实施管理，控制制流程，确保每一项真空设备的工艺技术***性和质量的优佳性、可靠性。

涡轮分子泵的优点：

 (1)清洁，无油蒸汽返流 涡轮分子泵可不用任何阱，按操作规程工作，就能为被抽容器提供一个极为清洁的真空环境，且不含有任何碳氢化合物。由于现代的涡轮分子泵除大泵外很少用油润滑的了，对于小泵多用油脂润滑，南沙区普发真空分子泵，也有用空气轴承的，但磁悬浮轴承用得较多。近几年来也有不少干式前级泵出现，使涡轮分子泵系统不存在油蒸汽返流，使它真正成为一种清洁的干式高真空泵

 (2)使用方便 在许多应用中，涡轮分子泵可不用高真空阀门或粗真空阀。只是简单地一按电钮，泵便能开始工作。从大气压力可降到极限压力。这种系统可以通过涡轮分子泵进行粗抽，可一直加速到工作速度为止。这样就可以不用阀门、管道、阱、阀门控制器等真空元件。同时也消除了这些元件所带来的故障。因此涡轮分子泵系统所占的空间小，而且涡轮分子泵的安装方向不受限制，可在任意方向安装（用油润滑的泵除外，它只能在垂直 5 范围内工作）

     广州潽拓光电科技有限公司主要从事机电自动化，光电存储媒体，半导体，医liao，太阳能电池板，普发真空分子泵ATH2300，玻璃镀膜，科学研究所等真空镀膜设备维修，销售，设计，开发及系统工程，软件开发，leybold，Pfeiffer，Alcatel，Agilent(Varian)，BOC Edwa***，Osaka，ULVAC，Shimadzu等分子泵，真空泵，真空计维修***/销售等业务

广州潽拓—维修***pfeiffer hipace 80普发分子泵

分子泵是一种高速旋转的机械泵，因此对平衡的要求很高，普发Hipace80，

对固体***非常脆弱，通常要在分子泵的入口处安装金属过滤网。

分子泵在工作过程中，如果压强突然恶化，则有可能损坏叶片。