ES200真空泵维修价格-东莞东欧真空设备公司

爱德华旋片式机械真空泵以其优异的性能受到用户的青睐。但是， 随着使用时间的增加，ES200真空泵维修工厂， 某些部件出现老化、磨损或损坏， 使其性能下降甚至不能正常运转， 影响工作进展。这时需要对真空泵进行及时维修

长时间使用引起真空泵的旋片磨损或转子内的弹簧张力不足， 导致吸气室和排气室隔离不严， 从而引起真空泵的抽真空性能下降，清远ES200真空泵维修，这时应当更换旋片和弹簧， 并清洗转子和泵腔;检查排气阀门， 观看其动作是否失灵， 导致排气不畅， 必要时更换排气阀门。

应用

目标应用包括：

负载锁

计量

传输腔

灰化/剥离

PVD

主要特性和优势

占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一，ES200真空泵维修厂，EPX 显著节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧，ES200真空泵维修价格，增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和 安装成本，如果需要也可远程使用。  

受保护的泵机构 - EPX 可以从大气压抽空到 UHV 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。  

超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑，这可能成为制程 工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承油脂，并且不存在 任何其他的潜在污染源。  

非常可靠 - EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，通常 每 5 年维修一次，地延长了泵的 使用寿命。

运转时的噪声低至 56 dB(A)，可在洁净室内实现低噪声。

安静运转：

工作环境更好

：

在一系列 实验室和工业应用中得到验证

***式 装置和紧凑式设计：

使用灵活性

气镇 阀：

高的蒸汽处理 能力

E2M0.7 与 E2M1.5

E2M0.7 和 E2M1.5 泵是双级直接传动滑片泵 该泵采用油封技术，能够长期可靠地运行。该泵为***式装置。传动由完全封闭的风扇冷却单相电机通过 Oldham 联轴器提供。该泵非常适合科学应用（例如前级涡轮分子泵）以及一般实验室应用。

应用

分析仪器

氦检漏仪

研发

前级涡轮分子泵