随着惯性系统低成本化的发展，在20世纪60年代中期开始出现新型的非液浮的所谓干式加速度计。由于这种仪表采用挠性支承技术，所以称为石英挠性加速度计，且其结构与工艺大大简化。目前这种石英挠性加速度计已广泛应用于各类现代惯性系统中。加速度传感器属于单轴重力加速度计，其特点是结构简单，体积小，国产加速度传感器厂家，精度和灵敏度高、可靠性高等。加速度传感器的工作原理是惯性质量受到外界加速度时，相对位置发生轻微偏移，引起差动电容极板距离的变化导致差动电容量的变化。
石英挠性加速度传感器为单轴力矩反馈式加速度计，通过检测质量来检测外界的加速度信号，再经伺服电路解调、放大，输出电流信号正比于加速度信号。石英挠性加速度是惯性导航系统的惯性器件之一，其输出精度受到温度变化的影响，为了降低温度对石英挠性加速度计精度的影响，在研究石英挠性加速度计数学模型的系数随温度变化规律的基础上，工业加速度传感器，设计了加速度计温度模型辨识试验方法，利用数据拟合方法建立了加速度计温度模型.应用该模型提出了石英挠性加速度温度补偿算法，针对该算法的有效性，进行了实验验证，三轴加速度传感器批发，结果表明应用该温度补偿算法，可使加速度计的测量精度提高一个数量级，补偿效果明显.该温度补偿算法可有效地应用于捷联式惯性导航系统等领域中。
随着惯性系统低成本化的发展，在20世纪60年代中期开始出现新型的非液浮的所谓干式加速度计。石英挠性加速度计用于载体的微重力测量系统和高精度惯导系统中，并可用于高精度的静态角度测量系统中。由于这种仪表采用挠性支承技术，加速度传感器，所以称为石英挠性加速度计，且其结构与工艺大大简化。石英挠性加速度传感器为单轴力矩反馈式加速度计。石英挠性加速度计结构轭铁由温度系数低，导磁性能好的软磁材料组成。挠性的材料为温度性能的石英玻璃，外形采用超声加工而成，挠性元件的加工一般采用化学腐蚀方法；也可以采用反应离子蚀刻工艺加工整个挠性，但造价很高。加速度传感器产品广泛用于航空航天高精度导航系统等。片
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