




石英挠性加速度计的高精度信号处理是基于力矩平衡原理、采用伺服回路实现,伺服回路的性能是制约石英挠性加速度计性能提高的关键因素之一。 现有技术方案中,混合集成式模拟伺服回路因集成电路工艺问题,精度较低;分立元件式伺服回路集成度低,传输电容信号、极易受寄生电容影响,实用性较低。石英挠性加速度计主要有4个分类,石英加速度计原理,分别是SRJ-1、SRJ-2、SRJ-3和SRJ-4等,石英桡性加速度计,产品具有量程较大,稳定性能好,精度高,气密性能好的特点,主要应用在惯性导航系统,平台惯导系统,并在航空、航天、舰船、惯性测量和制导等行业。
加速度计由于这种表面选用挠性支承技术所以称为石英挠性加速度计,且其结构与工艺大大简化,这种石英挠性加速度计已广泛运用于各类现代惯性系统中。 工作原理及结构由温度系数低导磁性能好的软磁资料组成,石英挠性加速度计,磁钢选用导磁性能比较良好的永磁资料,用无心磨床加工。石英摆片组件是石英挠性加速度计敏感惯性力测量加速度的关键部件。 它由整体石英摆片做成,在摆片中心两面各胶接一个力发生器线圈,以挠性头作为摆动轴,形成了力发生器的活动部件,它的引线由石英摆片的镀金引线通过石英挠性头引出。
石英挠性加速度传感器的性能指标;测量精度高,重复性佳,加速度计可靠性高体积小,加速度计,重量轻宽压供电,功耗低。模拟电信号输出技术指标技术性能量程±60g阈值(分辨率)1×10-5g偏值(K0)<4mg偏值(K0)温漂<40μg/℃偏值(K0)年稳定性1mg标度因数(K1)1.2~1.46mA/g 。此石英挠性加速度计的使用场景、飞机、舰艇、战车、水下等制导系统必须要有速度和位置信息,在要求低的场合人们使用空速度计、马赫数传感器、里程计等。石英挠性加速度计是目前惯性技术领域中应用广、发展快的惯性器件。在工作环境温度恒定条件下,石英挠性加速度计测量精度较高。但由于结构不完善,当工作环境温度变化或者自身工作发热时将导致其零偏和刻度因数不稳定,进而影响惯导系统精度。针对温度变化影响石英挠性加速度计测量精度问题,国内外众多学者从控制工作环境温度、进行温度补偿及改善工艺技术等方面已作了大量的研究,但对于石英挠性加速度计热-结构变形的研究还不够深入。
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