频谱分析仪的主要技术指标有频率范围、分辨力、分析谱宽、分析时间、扫频速度、灵敏度、显示方式和假响应。
1、频率范围：频谱分析仪进行正常工作的频率区间。现代频谱仪的频率范围能从低于1赫直至300吉赫。
2、分辨力：频谱分析仪在显示器上能够区分邻近的两条谱线之间频率间隔的能力，是频谱分析仪重要的技术指标。分辨力与滤波器型式、波形因数、带宽、本振稳定度、剩余调频和边带噪声等因素有关，扫频式频谱分析仪的分辨力还与扫描速度有关。分辨带宽越窄越好。现代频谱仪在高频段分辨力为10～100赫。
分析谱宽：又称频率跨度。频谱分析仪在一次测量分析中能显示的频率范围，可等于或小于仪器的频率范围，二手频谱分析仪，通常是可调的。分析时间：完成一次频谱分析所需的时间，它与分析谱宽和分辨力有密切关系。对于实时式频谱分析仪，分析时间不能小于其窄分辨带宽的倒数。扫频速度：分析谱宽与分析时间之比，二手频谱分析仪维修，也就是扫频的本振频率变化速率。
灵敏度：频谱分析仪显示微弱信号的能力，受频谱仪内部噪声的限制，二手频谱分析仪出租，通常要求灵敏度越高越好。动态范围指在显示器上可同时观测的信号与弱信号之比。现代频谱分析仪的动态范围可达80分贝。
当频谱仪受到振动、运输、长期存放或环境温度变化较大时，频谱仪的频率调谐会发生变化，二手频谱分析仪出售，从而导致频率测量误差。在严重的情况下，被测信号会左右抖动，这可以通过频率校准来消除。校准过程主要以300MHz信号为参考信号，对光谱仪的扫描时间、中心频率、跨度(扫频宽度)、YIG主线圈延迟、次级线圈灵敏度、扫频灵敏度进行误差校准，使光谱仪的频率调谐范围正常。
与频率校准一样，当光谱仪测量振幅的精度发生变化时，仪器可以通过振幅校准程序满足出厂规格。其过程主要是以300MHz信号为参考信号，测量并修正光谱仪的全通道振幅、分辨率带宽滤波器、对数放大器和输入衰减器的误差。
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