检漏仪对示漏气体的要求：在空气环境中含量尽可能少且组分基本恒定的气体，满足检漏灵敏度方面的要求，减少本底干扰检测的准确性。氦质谱检漏仪主要技术指标：1. 小可检漏率：5×10-12Pa·m3/s。2. 漏率显围：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s氦气检漏仪可对使用过程中产生的浓度不合格氦气进行提纯，极大降低氦气损耗（功能可选）。
对于分装或总装，采用吸入法。被检工件冲入氦-氮混合气体，氦质谱检漏仪厂家，利用被检工件装配面或疑是漏点进行找漏。检漏仪显示数值超过规定值即为有漏。对于体积较大的工件，采用背压发，按照工件体积的大小试用不同大小的检漏罐。通常把被检工件冲入0.6MPa的纯氦或氦（含量30%）-氮混合气体，然后放入检漏罐中。漏孔距离质谱室的距离检漏仪反应时间也不同，所以喷氦气应先从靠近检漏仪的一侧开始由近至远进行。
因此，电力行业对高压电气设备及其配套产品在密封性能上要求极高，氦质谱正压检漏法。给被检件内腔充入与设备工作压力相同的氦气，置入封闭容器中，将封闭容器与氢质谱检漏仪连通，待氦质谱检漏仪指示可检时，被检件内的氦分子在压差的作用下通过漏孔进入设备内的质谱室，氦质谱检漏仪经过分析后自动指示出被检件的漏率。氦质谱负压检漏法，将被检件装在氦质谱检漏仪上，对被检件抽真空，当达到检漏仪的开检压力后，对被检件漏点处喷氦气，氦分子在压差的作用下通过漏孔进入设备内的质谱室，氦质谱检漏仪经过分析后自动指示出被检件的漏率
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