




真空泵可以定义为:利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。随着真空应用的发展,真空泵的种类已发展了很多种,其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。
应用
镀膜
玻璃镀膜 机的负载锁和大型内嵌镀膜机
卷绕镀膜 和粘辊
光学镀膜、 镜片镀膜和显示屏镀膜
表面镀膜,如等离子体沉积和 反射或装饰镀膜
干燥
变压器 干燥
汽车 干燥和填充系统
制冷和空调
电池和电容器干燥
热处理
回火
淬火
退火
真空 钎焊
电子束和等离子焊接
一般工业
平时真空泵在工作前工作中及工作结束注意事项基本上跟常规真空泵维修***一样的了。保持关注真空泵的工作状态,维修一定要及时、迅速,这样真空泵的正常运行才能得到保证。
有许多消费者可能是真空泵在使用时出现了一些小故障,为了节约成本就会拿去维修,也不管找到的维修商家是否有能力修好该真空泵,佛山爱发科真空泵维修,只一味的注重价格。其实到后修不好,反而花费的钱更多。
应用
目标应用包括:
负载锁
计量
传输腔
灰化/剥离
PVD
主要特性和优势
占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一,爱发科真空泵维修公司,EPX 显著节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧,增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上,爱发科真空泵维修厂家在哪,从而节省了前级管道和 安装成本,如果需要也可远程使用。
受保护的泵机构 - EPX 可以从大气压抽空到 UHV 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。
超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑,这可能成为制程 工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承油脂,爱发科真空泵维修哪家实惠,并且不存在 任何其他的潜在污染源。
非常可靠 - EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10),通常 每 5 年维修一次,地延长了泵的 使用寿命。
运转时的噪声低至 56 dB(A),可在洁净室内实现低噪声。
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