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涡轮分子泵的工作特性主要表现在以下几个方面:压缩比与阶段压力之间的关系泵选择机械泵作为前级泵。当当前级压力满足一定要求时,分子泵稳定工作,减压比保持恒定。当当前级压力升至1Pa时,子压缩比开始降低,大阪复合分子泵TG1100维修,而当当前级压力升至数十帕斯卡时,压缩比急剧下降,分子泵无法正常工作。
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涡轮分子泵主要由泵体、带叶片的转子(即动叶轮)、静叶轮和驱动系统等组成。
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