光学微电子行业净化工程设计方案分析对于常规电子厂房洁净室空调的设计，应根据电子厂房的生产工艺要求及甲方的经济条件来选用哪种空调设计方案，以满足生产工艺的要求作为前提。根据以往经验，对于要求高的可以选用组合式空气处理机组集中处理的空调方案；对于要求不高的，又要初***低的，可以选用柜机+FFU。总之，具体的方案选择根据具体情况而定。
在垂直单向流洁净室中，过滤器的安装也有上装式和下装式之分。在水平单向流洁净室中，***洁净室，过滤器在送风静压室内安装，这不但便于密封、检漏和堵漏，而且当洁净室净化空调系统作间歇运行时，千级洁净室，还可以避免由于过滤器及其压框上的积尘影响室内洁净度。过滤器的安装密封方法主要有：a.密封垫法，目前国产的海绵乳胶板均系开孔型的，不宜作过滤器安装的密封材料，洁净室，海绵橡胶板是闭孔型的，作密封材料具有良好的气密性。b.液槽密封法，它是利用槽内灌注的惰性液体加以密封的方法。这种方法具有很高的气密性，构造简单，安装方便。
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