半导体指的是在常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的一种材料，主要应用于集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域，在半导体工业加工的过程中将会有部分的气体排出，那半导体工业的废气***吗，怎么处理好?
半导体工业在加工的过程中会使用到光刻胶、蚀刻液、清洗剂、显影剂等溶剂，而这些溶剂是含有大量的有机物成分，排放出来的废气含有HCl、氨、HF等***污染物，而主要处理的是具有挥发性的VOCs。
等离子起火多数因电场短路产生电火花，高压产生的电弧等引爆废气，因此等离子适合处理低浓度废气。且设备每个月应将等离子设备级电极组件抽出来清洗一次，每三个月至半年（年限是半年）视情况将等离子设备所有电极抽出清洗一次；
RTO催化燃烧的原因主要是进气浓度和进气量高于设计上线，导致燃烧室温度短时内急剧上升，高温尾气与高浓度有机废气混合会导致RTO排放炸，如果进气口未安装阻火器，机械加工废气处理设备，会导致进气管道着火；
有机废气处理方案
化学废气，根据其所含的污染物性质大致可分为三大类：一类是含无机污染物，主要来源于氮、磷肥(含***)、无机盐等行业；二是含有有机污染物的废气，主要来自有机原料及合成材料、***、涂料等行业；第三类为既含氮、磷肥(含***)、无机盐等行业；
化学工业中，炼油和石化工艺是有机废气排放大户。在炼油、化工厂的加热炉和锅炉的燃烧废气、生产设备的不凝气、弛放气和反应产生的副产品，以及废水和废物处理和运输过程中排放的废气等是有机化工废气的主要来源。根据生产行业可分为炼油废气、石油化工废气、合成纤维废气；按排放物又可分为燃烧燃气、生产工艺废气、火炬废气和无***排放废气。石油化工企业生产装置规模大，其工艺废气的排放和扩散范围也较大，工艺废气需要通过工业装置回收并处理后，作为尾气排放到环境中。
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