广州ULVACYM-RL-1201A干式机组-广东潽拓光电

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为了确认磁场对分子泵工作的影响，德国卡尔斯鲁厄理工学院（）设计并执行了下面的测试：测试条件和装置被测分子泵的型号为TwisTorr304FSCFF6，使用一对亥姆霍兹线圈(直径120厘米)来产生包围整个泵的均匀磁场。使用20℃的冷却水对分子泵持续进行冷却；分子泵的控制器会自动调整电机电流，保持转子以恒定转速运行。

使用安装于分子泵口的红外温度计测量被测试分子泵的转子温度。使用连接到分子泵外壳的PT100热电阻测量定子的温度。测试过程试验期间，涡轮泵以满转速持续运行。初始的磁场设置为1mT，泵在该磁场下运行12个小时以稳定转子温度；然后关闭磁场，再运行12个小时以使转子降温；然后再分别把磁场设置为2mT，按照前面的步骤继续进行测试，直至磁场增加到7mT。

当磁场逐步增加后，被测分子泵转子的平衡温度也随之上升，当磁场强度为7mT时，平衡温度上升到100摄氏度左右（分子泵的很大允许温度为120度）。

另外，使用该测试平台测试了另一台其它品牌的分子泵，一系列的对比测试表明，分子泵在相同的磁场条件下转子的平衡温度明显较低（5mT时，低大约40度）。

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超高真空互联装置需要在超高真空环境中进行，对真空度要求及其高，真空可达1E-10mbar，一般需要用前级泵，分子泵，离子泵，钛泵等组合使用来达到要求，涡轮分子泵需要低振动，低噪音，清洁无油确保超高真空的稳定性以保证晶格的生长和后期的探测分析.德国涡轮分子泵80，700，1200广泛应用于超高真空互联装置中!

超高真空互联系统会以ARPES，STM，MBE，UPS，XPS的联用为主.下图为某研发生产各类高真空系统客户实例图:1.ARPES角分辨光电子能谱，利用光电效应研究固体的电子结构，当一束光照射在样品表面，当入射光频率高于特定阈值(功函数)时，表面附近的电子会脱离样品，成为自由电子，这就是光电效应.光电子在真空飞行的过程中，被一个接受角度很小的能量分析器收集计数.

某光源ARPES光束线真空系统，真空系统是同步辐射光束线的重要组成部分，只有在真空环境中运行，光学元件才能够将同步辐射光传输到试验站，真空系统的作用就是获得并维持合理的真空度，保证光束线的稳定运行.此系统搭配爱发科分子泵80，及配套真空规。

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分子泵是氦质谱检漏仪中获得高真空重要部，是氦质谱检漏仪中不可或缺关键部件，分子泵性能直接影响检漏仪性能参数的好坏，分子泵的发展直接影响着氦质谱检漏技术。本文***讨论分子泵转速对氦质谱检漏的影响。2、逆扩散型检漏仪逆扩散型的检漏仪的检漏口是连接到高真空泵与低真空泵之间，ULVACYM-RL-1201A干式机组，所以被检试件的可检漏压力就是高真泵的前级耐压。如果试件压力超过这个压力，将使高真空泵不能正常工作。普通涡轮分子泵的前级耐压，一般不超过50Pa，远达不到高压检漏的要求。

1980年国际上出现一种称之为“复合型”的分子泵，现今，其前级耐压很高已达2000Pa。这种泵用作氦质谱检漏仪的高真空泵，可直接实现在高的试件压力下的检漏。用复合分子泵构成的一种可实现高压强下的检漏仪，其工作过程如下。当被检试件抽至1500Pa，V1开，氨气逆扩散穿越整个分子泵进入质谱室，实现仪器的逆扩散检漏。

若能进一步将试件抽至200Pa以下，则V2关闭，V3打开，从泵的中间口逆扩散至质谱室，若能进一步将试件抽至40Pa以下，则V3关闭，V4打开，氦气从泵的上部逆扩散进入质谱室，或直接进入质谱室(常规检漏）。这种从高压检大漏到实现检微漏的全自动过程，一气呵成，不仅，也便于漏率的定量，由于每个状态下的阀门流导和泵的压缩比等参数都是固定不变的，仪器只需1次校准即可。

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