




对于容积较小的部件,如波纹管、各种充气接头和气管焊接件等,采用氦罩法被检工件抽空,检漏仪调到漏率(10-11Pa。m3/s),然后对氦罩冲氦。质谱检漏仪之间使用金属软管连接。氦质谱检漏仪应在校验后使用并在检漏期间每1-2小时校验。检漏的方式是:链接被检化工管道和真空泵组以及氦质谱检漏仪,用真空泵组把管道抽真空,达到一定真空度。
氦质谱检漏主要领域:冶金——真空电炉;低温与压力容器——液氮和液氦储存罐、生物制品容器及各类压力容器;轻工产品——保温杯、太阳能集热管、饮料罐口等。漏孔距离质谱室的距离检漏仪反应时间也不同,所以喷氦气应先从靠近检漏仪的一侧开始由近至远进行。对于容积较小的部件,如波纹管、各种充气接头和气管焊接件等,采用氦罩法被检工件抽空,检漏仪调到漏率(10-11Pa。m3/s),然后对氦罩冲氦。
对于体积较大的工件,空调压缩机氦检,采用背压发,按照工件体积的大小试用不同大小的检漏罐。通常把被检工件冲入0。6MPa的纯氦或氦(含量30%)-氮混合气体,然后放入检漏罐中。氦气是较轻的惰性气体,在喷出时会自动上升,为了准确找到漏孔位置喷氦,使用此方法时喷氦自上而下,由近至远(相对检漏仪的位置),这是因为在下方时有可能被上方漏孔吸入;氦质谱检漏主要领域:电力工业——高压开关、避雷器、发电厂冷凝器系统;电力工业——电子器件、半导体、传感器和积成电路;。
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