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压缩比通常是指泵的排气压力与进气压力的比值. 对于涡轮分子泵来说, 压缩比是指在前真空法兰测量的压力与在高真空法兰测量的压力之比。压缩比的高低取决于几个因素,日本shimadzu分子泵叶轮, *重要的因素是气体的类型和涡轮分子泵的设计. 压缩比越高, 在分子泵进气口得到的*终压力就越低, 也就是分子泵的极限压力越低.
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分子泵工作条件
转子转速达到20000r/min,故分子泵启动时间较长。
气体处于分子流状态,故需要配备前级泵,一般使用旋片泵作为前级泵。
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牵引分子泵 气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量,被驱送到泵的出口。
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