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上世纪50年代,D.J.Pacey研究用石英晶振测量气体压强。他采用双三级管(电子管)做电路,其一侧与晶振构成Pierce-Miller振荡器,晶振置于被测气体中作压强传感器。当气体压强变化时,阳极电流也随之变化。据称该仪器可测105Pa到13.3Pa的压强。
到了20世纪80年代,M.Ono等人设计了测量范围从1.33Pa到大于105Pa的石英真空计。所用晶振为音叉结构,英福康真空计***咨询来电,长2.66mm,宽0.3mm,厚0.13mm,谐振频率为32768Hz。仪器采用位相锁定环路,(phaselookedloop)使振荡电路的频率与晶振的谐振频率保持一致。为了进一步减小下限,经过对石英晶振结构的研究,选用10mm长的晶振做成0.133Pa~105Pa测量范围的真空计。
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