茂名爱发科涡轮分子泵维修采购轴承「在线咨询」

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分子泵是氦质谱检漏仪中获得高真空重要部，是氦质谱检漏仪中不可或缺关键部件，分子泵性能直接影响检漏仪性能参数的好坏，分子泵的发展直接影响着氦质谱检漏技术。本文***讨论分子泵转速对氦质谱检漏的影响。2、逆扩散型检漏仪逆扩散型的检漏仪的检漏口是连接到高真空泵与低真空泵之间，所以被检试件的可检漏压力就是高真泵的前级耐压。如果试件压力超过这个压力，将使高真空泵不能正常工作。普通涡轮分子泵的前级耐压，一般不超过50Pa，远达不到高压检漏的要求。

1980年国际上出现一种称之为“复合型”的分子泵，现今，其前级耐压很高已达2000Pa。这种泵用作氦质谱检漏仪的高真空泵，可直接实现在高的试件压力下的检漏。用复合分子泵构成的一种可实现高压强下的检漏仪，其工作过程如下。当被检试件抽至1500Pa，V1开，氨气逆扩散穿越整个分子泵进入质谱室，实现仪器的逆扩散检漏。

若能进一步将试件抽至200Pa以下，则V2关闭，V3打开，从泵的中间口逆扩散至质谱室，若能进一步将试件抽至40Pa以下，则V3关闭，V4打开，氦气从泵的上部逆扩散进入质谱室，或直接进入质谱室(常规检漏）。这种从高压检大漏到实现检微漏的全自动过程，一气呵成，不仅，也便于漏率的定量，由于每个状态下的阀门流导和泵的压缩比等参数都是固定不变的，仪器只需1次校准即可。

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在润滑方面，配备一种新型润滑剂，具备更高的抗老化性、更优化的润滑性能和更强的耐热性，进一步提升真空泵组的安全性能，而且各款泵均可免维护运行5年。涡轮分子泵应用于镀膜机涡轮分子泵应用于镀膜生产线，客户某透明玻璃投射电容技术元件及模组生厂商，爱发科涡轮分子泵维修采购，产品玻璃触控模组，广泛应用于智能手机中.爱发科涡轮分子泵1500U配置于该企业镀膜生产线中.

涡轮分子泵1500U技术参数

压缩比

Ar:>1X108

H2:6X103

He:2X105

N2:>1X108

抽速

Ar:1350l/s

H2:1150l/s

He:1350l/s

N2:1400l/s

进气口

DN250-ISO-K

极限真空重量

29KG

涡轮分子泵1500U抽速:涡轮分子泵1500对各种气体均有高抽吸能力，高工艺适用性，防止进入颗粒.集成驱动电路，适用于工业环境，通过保护等级IP54.带有气体密封阀24VDC的集成型气体密封系统.涡轮分子泵1500搭配控制器TC1200，通讯接口RS-485，远程遥控（Profibus/DeviceNet型号供选择），多种配件供客户选择.

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涡轮分子泵的特点很多，但是随着我国机械、、电子、化工等领域的高速发展，涡轮分子泵想要扩大它的市场占有率，其需要克服的难题还有很多。这些不仅仅需要人士的专研，同时也需要各界的共同努力，对涡轮分子泵特点的进一步研究，相信在未来是个值得突破的课题。

典型的涡轮分子泵抽气系统 ，抽气系统设置分开的粗抽管道和前级管道，这种系统和常用的扩散泵抽气系统类似，其粗抽管道和前级管道的基本配置与扩散泵不同。扩散泵的正常运转要求前级泵具有足够大的抽速，以便在很大排气量时前级压力能低于临界前级压力，在涡轮分子泵抽气系统中，要选择具有足够容量的前级泵，使很靠近前级管道的叶片在很大排气量时处于分子流或者正好处于过渡流。

大多数涡轮分子泵的很大稳态进气口压力P1在0.5~1Pa之间，而很大前级压力P2约为30Pa。因为排气量为一常数，即P1S1=P2S2，   （1）式（1）表明，涡轮分子泵抽速和前级泵抽速之S1/S2比应该在30到60的范围内，对于很大的对氢压缩比小于500的泵来说，其级配比应该为20：1。1-涡轮分子泵；2-液氮冷阱；3-放气阀；4-电离规；5-热传导规；6-粗抽阀；7-机械泵；8-前级管路阀；9-高真空阀。

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