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不同测量范围的加热电流也有差异。因此,在使用热偶计时,应按不同的量程确定规管的加热电流。①10~10-1Pa量程:规管须垂直倒置,在真空度优于10-2Pa时调定加热电流(此时热电势为10mV,即满刻度),其加热电流可调节范围为95~150mA。②102~10Pa量程:规管须垂直倒置,在0.1MPa时调定加热电流,英福康真空计***咨询来电,其加热电流可调节范围为175~300mA或以上。
热偶计规管的结构较电阻式规管复杂一些,但p-E校准曲线受外界温度的影响较小。 MEMS传感器具有小型化、低成本、、易与CMOS集成电路兼容等特点。在不同类型的MEMS传感器中, 很普遍、应用 很广泛的是压阻式和电容式传感器。与压阻式传感器相比,电容式传感器具有灵敏度高、温度系数低、功耗低等优点。
MEMS电容薄膜真空计作为MEMS电容式传感器的一种,能够满足深空探测、空气动力学研究、临近空间探索等领域对真空测量仪器测量准确度高、体积小、质量轻、功耗低的应用需求,具有广泛的应用前景。MEMS电容薄膜真空计包含真空规管和测量电路两个部分。其中,真空规管将真空度转化成电容量,测量电路对电容量进行处理得到真空度的值。MEMS电容薄膜真空规管初始电容量的范围为几到几十皮法,其电容变化量为几飞法甚至更小。
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安装晶振的集成机箱 真空腔体压强测量与外壳检漏
有些器件需要在真空条件下工作,就要将这些器件密封在腔体中,这样腔体中压强要测量,外壳也需要捡漏,并要估计漏率的大小。因为石英晶振体积比较小,选用石英真空计测量压强是合适的。只要将石英晶振密封在腔体中,用两根引线引出腔体即可。腔体的漏率可以用以下公式计算:漏率Q=V×dp/dt,式中V是腔体体积,dp是在dt时间内压强的变化。
若初始压强为10Pa,存放两天后压强上升到20Pa,体积为2cm3,可算出漏率为1.2×10-10Pa.m3/S。如有漏,可用密封材料堵怀疑有漏的地方,若压强不再变化,说明漏洞就在这个地方。
市电供应困难的环境
测量几万伏高压处的压强,真空计的外壳要接高压火线,可用石英真空计来测量。因为石英真空计的功率小,可用电池供电,这样可将石英真空计及电池均放置在高压绝缘柱上。此外,由于石英真空计耗电小,不一定要交流220V供电,仅需要9V直流电池供电即可,这样它会在航天事业中获得应用。
▲石英真空计放置高压绝缘柱上
石英真空计的下限决定于石英晶振阻抗的漂移,而阻抗的漂移决定于石英晶振的结构及环境温度的变化。选择适当结构的晶振,可以获得较低的下限。石英真空计的优点是传感器体积小,功耗小,白云区英福康真空计***,精度较高,量程较宽等,因此它将有广泛的应用。
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起初主要是以生产 inficon真空表为主,后经我们技术工程师们对产品技术的不断创新,先后试制研发出了PM-1型至PM-8型的多种inficon真空计产品, 逐步淘汰初级产品,使inficon真空计的产品在结构上、准确度、使用寿命上都有了长足的进步,不亚于国外的同类inficon真空计产品。
其次,公司为了更好的迎合市场的需求,先后制造了ZDJ-1至ZDJ-8型(DZA1)的电阻真空计和数显的、指针式的热偶真空计,英福康真空计******,其中的ZDJ-3型和ZDJ-8型(DZA1)两款数显真空计,其线路设计是采用国外相当***的16位高速数据采集系统及高稳定的微处理机来进行监控跟踪的,非常适用于我国的空调冰箱行业以及涉及真空领域的粗低真空设备的真空度检测。准确的产品,生存的保证!
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