




氦气检漏的基本功能(部分功能可选配)
1、对被检工件充注高压氮气或压缩空气进行耐压强度和大漏气密性检验;
2、对被检工件抽真空;
3、对被检工件充注氦气;
4、真空箱法氦质谱检测,SF6充气柜真空箱检漏系统,自动判断工件漏率合格与不合格;
5、回收并循环使用氦气;
6、如果氦气浪费严重,可以将使用过程中浓度不合格的氦气进行提纯
7、PLC控制,触摸屏操作,自动检测。
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氦质谱检漏仪的环境条件
氦质谱检漏仪是现在比较常用的仪器,真空箱检漏系统,今天科仪的小编就和大家来说一下,氦质谱检漏仪的使用环境条件有哪些,希望对您有所帮助!
校准环境温度为(23 ± 5) ℃ ,校准过程中室温变化不超过± 1℃ ,环境相对湿度不大于80% 。
校准设备周围应无明显的温差、气流和强电磁场等外部干扰。
环境温度较好控制在23℃ 附近,因为标准漏孔的出厂标称漏率对应的环境温度一般为23℃ 。
氦质谱检漏仪的结构和工作原理
氦质谱检漏仪是180°磁偏转型的质谱分析计,其基本原理是根据离子在磁场中运动时,不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。检漏仪主要由质谱室、真空系统及电气控制部分组成。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空,当真空度P1 优于200 Pa 时,打开入口阀1、2,关闭抽空阀,六氟化硫充气柜真空箱检漏系统,氦气将逆着分子泵的抽气方向进入质谱室中被检测出来,此时检漏仪的较小可检漏率为10- 10 Pa·m3/s。前级泵继续对检漏接口抽真空,检漏系统,当P1降至20 Pa 时,入口阀2 关闭,入口阀3 打开,分子泵的高抽速用于抽空试件,检漏仪的反应时间缩短,此时检漏仪的较小可检漏率为10- 12 Pa·m3/s。
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