预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象（≥15MΩ.CM）(新工艺)
预处理系统→反渗透系统→中间水箱→纯水泵→粗混合床→精混合床→紫外线杀菌器→精密过滤器→用水对象 （≥15MΩ.CM）(传统工艺)以上工艺各有各的优势，超纯水设备供应商，你可以根据你自身的情况选购适合你的工艺。随着科学的发展，很多新的工艺已经替代了旧的工艺，反渗透法制取高纯水已经普及，也是为现今的工艺。
纯水(超纯水)处理设备，是指水中的导电介质几乎完全去除，工业超纯水设备，同时不离解的气体、胶体以及有机物（包括***）也去除至很低程度的水。其电导率一般为0.1~0.055uS/cm，连云港超纯水设备，电阻率（25℃）>10x10^6Ω·cm ，含盐量<0.1㎎/L.理想纯水(理论上)电导率为0.055 uS/cm，电阻率（25℃）为18.3x10^6Ω·cm。
源水→源水泵→机械过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→一级反渗透膜→二级反渗透膜→TOC脱出器→EDI系统·低压开关保护高压泵不会因供水停止而损坏。
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