检漏系统-科仪创新技术有限公司-充气柜真空箱检漏系统

氦质谱检漏仪的原理

氦质谱检漏仪一般由质谱管，真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源，质量分析器和离子检测器; 真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并聚焦成束，以一定能量注入质分析器，

目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。

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氦质谱检测仪的标准器选择

北京科仪真空技术有限公司生产氦质谱检漏仪，今天科仪的小编就大家来分享一下氦质谱检漏仪的标准器的选择，希望对大家有所帮助！

标准器 采 用 渗 氦 型 标 准 漏 孔，电力中高压电力环网柜真空箱检漏系统，漏 率 标 称 值 在( 10 - 6 ～ 10 - 10 ) Pa·m3 /s，不确定度不大于 10% 。

精密玻璃温度计，测量范围(0 ～ 50) ℃ ，不确定度 U = 0. 04℃ ，k = 2。

氦质谱检漏仪的注意事项

检漏仪的响应时间会影响检漏工作的速度，正常运行的仪器响应时间不大于3s。笔者实测时，在漏点处喷射氦气5～10s后，电力中高压真空箱检漏系统，检漏仪就发生响应，对于如此庞大的真空系统，其反应是相当的灵敏。

检漏时喷在漏孔处停留的时间应为仪器响应时间的3倍，该时间再加上氦气在真空系统中的传递时间，即为两次喷氦的较小间隔时间，当然真空系统越庞大，该间隔时间也越长。笔者根据实测经验，检漏系统，两次喷氦的较小间隔时间控制在30s左右，即如果次喷氦后30s内检漏仪还没有反应，充气柜真空箱检漏系统，则可进行第二次喷氦。

清除时间在理论上与响应时间相同，但由于仪器零件对氦的吸附和脱附作用的影响，清除时间一般要更长些。笔者测算，在测试到数量级为10-9P a ?m3/s的微漏漏点时，清除时间约须1分钟；在测试到数量级为10-8P a ? m3/s的中漏漏点时，清除时间约须2分钟；在测试到数量级为10-7Pa?m3/s的大漏漏点时，清除时间在3分钟左右。

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